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產品&技術

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NanoPro-100系列晶圓自動光學檢測設備

         NanoPro-100系列產品是中導光電首臺推向市場的納米圖形晶圓缺陷檢測設備，其適用于0.13-0.18um工藝產線的IC有圖形和無圖形晶圓缺陷檢測。


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