近日，中導光電設備股份有限公司（簡稱“中導光電”）納米級圖形晶圓缺陷光學檢測設備（NanoPro-150）再次交付客戶，標志著中導光電在半導體前道圖形晶圓檢測設備市場化道路上闊步前行。
前道圖形晶圓檢測設備是半導體芯片制造過程中的核心設備之一，技術門檻高，難度大，是檢測設備的主戰(zhàn)場。此次交付用戶的NanoPro-150產(chǎn)品靈敏度系納米級序列，充分滿足半導體芯片90nm及以上產(chǎn)線制造工藝需求。本次交付的設備將用于國內功率半導體頭部公司的量產(chǎn)線，加之前期該型號設備已在功率半導體知名企業(yè)產(chǎn)線長期量產(chǎn)使用，表明該產(chǎn)品尤為受到功率半導體公司的青睞和歡迎。
NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端產(chǎn)品，除與國際頂尖公司同類產(chǎn)品在靈敏度、檢出速度等主要性能參數(shù)相近外，還開發(fā)和引入了許多先進的AI算法和軟件，進一步提高了信噪比，顯著提升了設備在關鍵制程的缺陷檢測靈敏度和檢出率。同時，該產(chǎn)品實現(xiàn)了精密光機電關鍵核心部件的國產(chǎn)化和自主可控，為產(chǎn)品的量產(chǎn)和穩(wěn)產(chǎn)奠定了堅實基礎。
中導光電是國內半導體及泛半導體前道圖形缺陷檢測設備的領軍企業(yè)，也是國家專精特新 “小巨人” 企業(yè)、國家知識產(chǎn)權優(yōu)勢企業(yè)，有著豐富的技術積累和完全的自主產(chǎn)權。在過去十多年的經(jīng)營中，公司的亞微米級和微米級設備累計銷售逾350臺，長期穩(wěn)定地運行在眾多量產(chǎn)線中。公司目前進入銷售和量產(chǎn)的NanoPro-1XX系列產(chǎn)品和MDI亞微米檢測設備，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX即將先后進入市場，可望覆蓋國內半導體前道檢測設備需求市場的90%以上，給中國半導體工業(yè)檢測設備的國產(chǎn)化描繪出一片光明前景。
